חלקי טיטניום עבור מוליכים למחצה

1. בקרת שחרור זיהומים-נמוכה במיוחד

אנו מאמצים סכימת עיבוד של כלים קרמיים + כלי עבודה ללא-ברזל לאורך כל תהליך הייצור. כל חומרי העזר במגע עם חומר העבודה עוברים שלושה סבבים של טיהור שטיפת חומצה, תוך שליטה קפדנית על התכולה הכוללת של ברזל, כרום וכו' כדי להיות בטווח של 0.02%. זה מונע לחלוטין את בעיית זיהום יוני המתכת הנפוצה בתהליכי מוליכים למחצה ומונעת היווצרות של שאריות מתכת מוגזמות על פני הוופל. זה מפחית את הסיכון לקצר במעגל מצד החומר.

 

2. עמידות בפני קורוזיה-לטווח ארוך

לאחר יצירת החלק, הוא יעבור שני ריכוזים שונים של טבילת תמיסת חמצון חלשה לצורך פסיביות. על פני השטח ייווצר סרט הגנה אחיד של טיטניום דו חמצני בעובי 8-10 ננומטר. גם כאשר נחשפים לתמיסות מעורבות של חומצה הידרופלואורית וחומצה חנקתית בתהליך ניקוי מוליכים למחצה במשך 2000 שעות ברציפות, לא תהיה ניתוק בור וללא פסולת ששורטת את פני הוופל.

 

3. יציבות מימדית-בדיוק גבוה

במהלך העיבוד, התהליך כולו משתמש בתרסיס חנקן נוזלי לבקרת טמפרטורה קבועה, השולט על העיוות שנוצר במהלך העיבוד בטווח של 0.003 מ"מ. לפני היציאה מהמפעל, המוצרים המוגמרים עוברים בדיקות רכיבה על אופניים גבוהות ונמוכות 24 שעות ביממה. גם כאשר פועלים בסביבת תהליך מוליכים למחצה ב-180 מעלות במשך זמן רב, לא תהיה חסימת דפורמציה ולא הידבקות דפורמציה. אין צורך לפרק ולהתאים את דיוק היישור לעיתים קרובות.

 

4. קצב פליטה נמוך מתאים לסביבת ואקום

כל החלקים עוברים תחילה לאפייה בוואקום של 120 מעלות למשך 48 שעות לטיפול בהסרת גז. אדי המים והחלקיקים הזעירים הנספגים על פני השטח מוסרים לחלוטין. לאחר התקנתו בתא הוואקום המוליכים למחצה, זה יכול לעזור לציוד להגיע לדרגת הוואקום היעד ב-25% מהר יותר מאשר שימוש בחלקי נירוסטה רגילים, ולצמצם את אובדן הזמן של המתנה לשאיבת ואקום.

1. מגש רקיק למכונת שקיעת אדים PVD

משמש לתמיכה בפריסת הסיליקון לציפוי. בסביבת-הטמפרטורה הגבוהה של התזת חומר המטרה, חלק הטיטניום לא יגיב עם הגז המקרטע ולא ישחרר זיהומים עודפים לתא, מה שיכול לשפר את האחידות של שכבת סרט המתכת המופקדת על פני הפרוסה ב-5%, ולמנוע את הבעיה של דליפת שבב הנגרמת מעובי שכבת מתכת לא מספקת. זה מתאים לדרישות ייצור ציפוי של תהליכים של 28 ננומטר ומטה.

 

2. מתלה מנשא רקיק למכונת ניקוי רטוב

בתהליך הניקוי הסטנדרטי של RCA, המתלה טבול במלואו בחומצה חזקה ובתמיסות ניקוי אלקלי חזקות. חומר הטיטניום לא ייאכל וייצר פסולת, ולא יידבק למשטח הפרוסות כדי לגרום לזיהום חלקיקים. זה יכול להפחית את שיעור הפגמים בחלקיקים של ניקוי פרוסות יחיד ב-12%. יחד עם זאת, המאפיין הקל משקל של המתלה יכול גם להפחית את עומס ההולכה של מכונת הניקוי ולהפחית את צריכת האנרגיה של הציוד.

 

3. מושב קיבוע אלקטרודה למכונת השתלת יונים

משמש לתיקון אלקטרודות המתח הגבוה-במכשיר. התכונה הלא-מגנטית של טיטניום לא תפריע למסלול של אלומת היונים, מה שמאפשר לשלוט בסטיית העומק של השתלת יונים בטווח קטן מאוד, ולמנוע את הבעיה של מינון הזרקה לא אחיד באזור המקומי של הפרוסה. זה משפר באופן משמעותי את עקביות הביצועים החשמליים של השבב.

 

4. אוגן מחבר לצינור ואקום מוליכים למחצה

חיבור קטעים שונים של צינור הוואקום של המכונה. קצב הפליטה הנמוך של טיטניום יכול לשמור על סביבת ואקום נקייה- גבוהה בתוך הצינור ולא יגרום לתנודות בדרגת הוואקום עקב שחרור הגז של אוגני נירוסטה רגילים לאחר שימוש-לטווח ארוך. זה מפחית את מספר ההתראות של כיבוי המכונה המופעלות עקב חריגות בוואקום ומגדיל את זמן הפעולה הרציף של קו הייצור ב-30%.

1. התאמה אישית של מידות לא-סטנדרטיות

בהסתמך על מרכז עיבוד 5 צירים משלנו, ניתן להתאים את אורך, רוחב וגובה החלקים בהתאם למרחב ההתקנה של ציוד המוליכים למחצה הקיים של הלקוח. אין צורך ללקוח לשנות את ממשק הציוד, והדגימה הראשונה יכולה להימסר תוך 7 ימים.

 

2. התאמה אישית של מצב פני השטח

ניתן לבחור שתי שיטות טיפול משטח לפי דרישה: ליטוש מראה והתזת חול מט. הם מתאימים לדרישות ניקיון שונות של תהליך הייצור ויכולים למנוע הידבקות חלקיקים המשפיעה על סביבת ייצור המוליכים למחצה.

 

3. התאמה אישית של ממשקים מיוחדים

ניתן להתאים מבנים מיוחדים כגון חריצי כרטיסים מיוחדים וחורי מיקום כך שיתאימו באופן מלא לדרישות ההרכבה של הציוד שפותח בעצמו-של הלקוח. אין צורך להוסיף רכיבי מתאם נוספים.

פָּרִיט	מִפרָט
שם המוצר	חלקי טיטניום עבור מוליכים למחצה
חוֹמֶר	טיטניום טהור (דרגה 2), סגסוגת טיטניום (דרגה 5 Ti-6Al-4V)
תהליך ייצור	עיבוד CNC, חריטה, כרסום, השחזה, ריתוך
צורות זמינות	צלחת, טבעת, צינור, מוט, בלוק, חלקים מותאמים אישית
מידות	מותאם אישית לפי ציורים או דוגמאות
סוֹבלָנוּת	עד ±0.01 מ"מ
גימור פני השטח	מלוטש, התזת חול, כבוש, אנודייז, עיבוד מדויק
חספוס פני השטח	Ra 0.2–1.6 מיקרומטר (זמין בהתאמה אישית)
טוֹהַר	עד 99.6% (טיטניום דרגה 2)
טמפרטורת הפעלה	עד 400 מעלות
צְפִיפוּת	4.51 גרם/ס"מ³
קַשִׁיוּת	כיתה ב': HB 145–200; כיתה ה': HRC 30–36
עמידות בפני קורוזיה	עמידות מצוינת לחומצות, אלקליות וכימיקלים בתהליך
תאימות כימית	מתאים לכימיקלים מוליכים למחצה ולסביבות טוהר- במיוחד
בְּדִיקָה	בדיקת מימד, אישור חומר, בדיקת משטח

 

 

 

תגיות פופולריות: חלקי טיטניום עבור מוליכים למחצה, סין חלקי טיטניום עבור יצרנים, ספקים, מפעל